Nachdem das Licht in den Strahlteiler eingetreten ist, kann das gewöhnliche Licht entsprechend der Wellenlänge in die folgenden drei Typen unterteilt werden:
Nahe UV (nahe UV): 200-380 nm
Vakuum UV< vuv=""> ： 10-200nm
Extremes Ultraviolett, extremes Ultraviolett (ExtremeUV 〈EUV〉): 1-10 nm
